삼성, 현대, LG 등의 대기업이 주축이 되어 정부주도의 1M, 4M D램 반도체가 속속 국내 연구기술진에 의해 개발되어 양산에 성공, 세계 제1의 D램 생산국으로 발돋움함에 따라 대학, 국공립연구기관의 반도체 분야 연구가 크게 활성화됨은 물론 이 분야 연구·개발 기술 수준이 세계 수준에 도달하게 되었다. 이러한 국내 반도체 산업의 급속한 발전에 따른 연구기술인력의 수요를 충당하기 위해서 각 대학의 물리학과에 반도체 연구가 시작된 시기도 이 무렵이었다. 또 한국물리학회로서는 이러한 반도체 분야의 사회적 요구를 충족하기 위해 새로이 반도체 물리학분과 위원회를 1993년에 고체물리학분과 위원회로부터 분리 독립결성하고, 반도체 관련 학회인 대한전자공학회(반도체재료 및 부품 연구회)와 대한전기공학회(전기재료연구회)와 공동으로 “한국반도체학술대회”를 매년 개최하기로 합의하여 450여명의 반도체인이 한자리에 모여 축제 분위기로 제1회 한국반도체학술대회(학술 대회장 민석기)를 성황리에 개최하였다. 이 반도체 학술대회는 2002년 제9회를 맞이하였고, 많게는 1400여명 적게는 1000명이 참석하는 세계적인 규모의 반도체 학술대회로 발전하였으며, 논문의 상당부분이 국내반도체 업체에서 발표되고 있어, 국내 최대의 산·학·연 학술대회로 자리매김하고 있다. 발표논문은 해당분야 전문가 2 - 4명의 심사를 거쳐 합격된 논문만이 발표되고, 발표자는 모두 해당분야 전문가(박사급 이상 및 박사과정 학생)만이 할 수 있도록 엄격하게 규정하고 있다. 그리고 발표된 논문은 JKPS에 투고하여 한국반도체 학술대회 영문 프로시딩으로 발간되고 있다. 초기에는 외국에서 초청한 전문가의 강연이 위주가 되었던 ISPSA는 반도체분야의 연구 및 교육활성화에 크게 기여한 것으로 평가되고 있다. 그 후 ISPSA는 한국물리학회와 미국해군연구소, 한·미 과학협력센터가 공동 주최하고 있으며 ISPSA-2000에서는 초청강연 23편을 포함하여 246편의 논문을 발표하였고 약 400명이 참석함으로써 ISPSA-1998년보다 규모가 60%나 증가한 것으로 나타났다. “Semiconductor Nanostructure Science and Technology”를 주제로 하는 ISPSA-2002(위원장 이형재)는 2002년 8월에 한국물리학회 50주년 기념행사의 하나로 개최하여 290편의 논문 발표가 있었고 500여명이 참여하였다. ISPSA-2002에서는 24편의 초청논문과 12개국으로부터 266편의 기고논문을 발표하여, 11편의 초청논문만을 발표했던 ISPSA-1982와 ISPSA-1984와는 큰 차이를 보이고 있다. ISPSA에서 특히 주목되는 것은 ONR의 박윤수의 활약이었다. 미국측 전문가들이 거의 그의 주선과 후원으로 ISPSA의 초청연사로 참석했고, 그의 물심양면의 헌신적인 협조가 오히려 미국정부의 의심을 받기까지 했다. 1990년대에 들어서면서 빼놓을 수 없는 것이 우수연구센터(SRC/ERC) 사업이다. 이 사업은 한국과학재단이 도입하여 1990년에 시작하였다. 1990년에 처음으로 선발하여 지정한 13개 센터중의 하나로 전북대의 반도체물성연구센터(SPRC, 소장 이형재)가 있다. 그 당시만 해도 규모나 내용에서 획기적 연구지원 프로그램이었고, 그래서 초기에는 반도체의 거의 전분야에 걸쳐서 전국의 중요한 연구자들이 대부분 참여하고 있었다. 그러나 연구소 특성화의 필요에 따라 연구재료는 물론 내용도 축소되어 과학재단의 9년 지원이 마무리되는 무렵에는 양자구조 GaAs, GaN, SiGe 등에 국한되었으며 그 후 III-V 질화물이 센터의 특성화 연구대상으로 되어있다. SPRC의 사업기간 동안의 실적으로 빼놓을 수 없는 것은 국제협력이었고, 특히 한·일, 한·중 공동연구와 학술활동을 통한 협력은 지금도 진행되고 있다. 1999년에는 1980년대부터 GaAs, MCT 등 화합물 반도체의 기반을 다져온 동국대 물리학과에 양자기능반도체 연구센터(QSRC 소장 강태원)가 문을 열게 되었다. 특히 QSRC는 동국대의 특성화 정책이었다. 시설, 인력, 연구비등에서 획기적인 지원을 받고 있다. QSRC는 ① 나노소자 구조에서 나타나는 문제점을 해결하고, ② 재연성 있는 양자구조를 성장하며, ③ multinary-bit 실현을 위하여 스핀이나 전하(charge) 조절이 용이한 신물질을 개발하고, ④ 이러한 신물질과 반도체 양자구조 결합을 이용하여, ⑤ multinary-bit 기능구조를 구현하는 것을 주요 연구내용으로 하고있다. 정보화 시대의 진전에 따라 정보소자의 소형화, 고속화에 따라 그 한계를 돌파하기 위한 신개념 기술의 창출은 양자역학을 탄생, 발전시켜온 물리학에 주어진 21세기의 역할이라 할 것이다. 그 일익을 담당하기 위한 스핀물성연구센터(ESSC)소장 정윤희)가 2000년에 포항공대에 지정되었다. 이 센터는 전자의 스핀 자유도를 나노, 피코초 수준에서 이용하는 신개념, 신기술을 개발함으로써 아래의 연구목표를 지향한다. ① 탁월한 기초학문적 성과: “understanding and exploitation of electronic spin degrees of freedom in matter on the scales of nano-meter and pico-/femto-second”. ② 21세기 새로운 문명을 위한 응용기술의 기반확보: “Spintronics and Quantum Computation”. 2001년에는 성균관대학교에 나노튜브 및 나노복합구조 연구센터(CNNC, 소장 박종윤)를 설립하였다. 나노튜브와 반도체 및 금속입자는 그 대표적인 물질로 구조제어를 통한 전자구조, 광학적, 전기적, 자기적 성질의 변화 등을 예측할 수 있고, 금속의 경우 고효율의 촉매 기능 등을 예측할 수 있다. 또 이들의 구조적 화학적 나노복합구조도 새로운 물성이 예상되며 그 응용성이 커서 평판 디스플레이용 전자방출원, 수소저장셀, 촉매제, 고집적메모리셀, 연료전지 전극 등에서 기존의 한계를 뛰어넘을 수 있는 신물질로 기대하고 있다. 이 연구센터에서는 국내의 제한된 인력 및 재원으로 효율적인 연구를 수행하고 세계적 경쟁력을 가진 연구집단으로 성장시키기 위해 연구센터를 설립하였다. 연구과제는 3개의 총괄연구과제로 구성되어 있으며 제1총괄에서는 나노튜브와 나노복합구조의 합성, 제2총괄에서는 나노구조의 형성메카니즘 규명 및 신기능 예측, 제3총괄에서는 나노튜브 및 나노구조물의 반응성과 응용에 관한 연구를 수행하고 있다. 우리나라 반도체 역사에서 비정질 및 다정질 Si 박막에 대한 연구를 빼놓을 수 없다. 경희대의 장진은 1980년 중반부터 이에 대한 연구를 시작했으며 1999년부터는 과학기술부가 지원하는 NRL을, 2001년부터는 산자부가 지원하는 차세대 디스플레이 연구센터를 운영하고 있다. 1998년에는 비정질 실리콘의 새로운 결정화 방법을 개발하여 Nature지에 논문을 게재하는 등 300여편의 주요논문을 발표하였으며, 비정질 Si 및 비정질 Si TFT 분야에서는 세계에서 가장 열심히 하는 그룹중의 하나로 평가되고 있다. 한국 반도체물리학 발전에 크게 기여한 재외 한국인 물리학자의 기여를 빼놓을 수 없다. 1960년대부터 40여년간 한국 반도체물리학계에 크게 도움을 준 박윤수를 우리는 오래 기억해야만 한다. 박윤수는 미국 해군연구소에 근무하고 있는데 1960년대에서 1980년대 전후까지 미공군 연구소에서 반도체 물리학 분야 연구업무에 종사한 반도체 물리학자이다. 강창술, 이승학(미국해군연구소), 김종국(미국 벨 전화연구소), 김영배(미국 남가주대학), 송진주(미국 오클라호마대학) 등과 일본 동경대의 스가노, 시요노야, 이꼬마, 도호쿠대의 니시자와, 야오, 오사카대의 남바, 하마카와, 콘다 그외 이카자키(메이지대학), 동경공업대의 다카하시, 스에마쓰, 구키모도, 마쓰무라, 경도대의 마쓰나미, 학습원대의 오가와, 치바대의 요시카와 등의 도움이 컸으며, 미국에서는 라제기(노스웨스턴대), 왕(버클리 캘리포니아대), 쓰우(샌디에이고 캘리포니아대)의 도움과 독일의 필군(스투트가르대)과 반도체 분야의 노벨상 수상자인 일본의 에사키, 독일 막스 프랑크연구소의 크릿칭, 소련 IOFE 연구소의 알페로프, 일리노이대학의 바딘 등 수많은 반도체 물리학자들이 한국의 반도체 물리학계를 위하여 음으로 양으로 많은 도움을 준 것이 한국반도체 학계가 이처럼 발전하는 계기가 되었다.  |
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1993년부터 매년 "한국 반도체 학술대회"개최
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